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交流電圧による真空中静電浮上変圧器を用いた昇圧と共振を利用した増幅器への負荷の軽減 |
新野俊樹,江戸宏一,樋口俊郎,浅間一 |
2001年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,K36,pp.403,(2001.3.5). |
増幅器と準定電圧出力電源を組み合わせた真空中静電浮上−ランプ指令を利用した増幅器への負荷の軽減− |
江戸宏一,樋口俊郎,新野俊樹 |
2001年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,K37,pp.404,(2001.3.5). |
準定電圧電源を利用した真空中静電浮上における増幅器出力電圧の低減 |
新野俊樹,江戸宏一,樋口俊郎,浅間一 |
第13回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集,309,pp.463-466,(2001.6.20). |
低出力電圧増幅器と変圧器を利用した真空中静電浮上 |
新野俊樹,江戸宏一,樋口俊郎,浅間一 |
第13回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集,310,pp.467-468,(2001.6.20). |
超音波振動子を用いた超高真空対応回転導入器(摩擦部材の検討と高出力化) |
高橋俊一,森田剛,新野俊樹 |
第13回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集,446,pp.771-774,(2001.6.20). |
超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器のベークアウト特性 |
高橋俊一,森田剛,新野俊樹 |
2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,L83,pp577,(2001.9.10) |
超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の真空中での駆動特性 |
高橋俊一,森田剛,新野俊樹 |
# 2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,L84,pp578,(2001.9.10) |
Improvement of operation time, torque and out-gassing performing of UHV compatible rotary feedthrough utilizing ultrasonic motor |
Shunichi TAKAHASHI, Takeshi MORITA, Toshiki NIINO |
# 2001 IEEE International ultrasonics symposium Abstracts, H3-5, pp.291-292. (2001.10.7). |
超音波モータを利用した回転導入器の真空中の駆動特性 |
高橋俊一,森田剛,新野俊樹 |
第22回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 講演予稿集,P3-45,pp369-370,(2001.11.7). |
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東京大学生産技術研究所 新野研究室
東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻
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