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静電浮上機構(静電レール)によって高真空中で浮上された物体の静電モータによる直動駆動 |
新野俊樹, 塚本英隆, 淺間一 |
2003年度精密工学会春季大会,pp.196 |
超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発−ステータ−ロータインターフェイス形状の変更による駆動性能の向上の試み− |
高橋俊一, 森田剛, 淺間一, 新野俊樹 |
2003年度精密工学会春季大会,pp.578 |
高真空環境内完全非接触静電浮上モータ |
新野俊樹, 塚本英隆, 淺間一 |
第15回「電磁力関連のダイナミックス」シンポジウム,pp.235-238 |
超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発(摩擦駆動部の機構学的滑りの低減による駆動性能の向上) |
遠藤康博, 高橋俊一, 森田剛, 浅間一, 新野俊樹 |
第15回「電磁力関連のダイナミックス」シンポジウム,pp.557-562 |
Operation of Ultrasonic Motor in Ultrahigh Vacuum Condition |
Toshiki Niino, Shunichi Takahashi, Yasuhiro Endo |
2003 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings, 4F-4 |
テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構を利用した超高真空対応試料導入位置決め機構の検討 |
袴田恵世, 新野俊樹 |
2003年度精密工学会秋季大会,pp..628 |
超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発−ロータ−ステータインターフェイス形状の変更による高真空中での駆動特性の向上− |
遠藤康博, 新野俊樹 |
2003年度精密工学会秋季大会,pp.633 |
超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発−セラミックを摩擦材とするモータ超高真空中での駆動特性の向上− |
遠藤康博, 新野俊樹 |
2003年度精密工学会秋季大会,pp.634 |
高真空対応完全非磁性静電浮上モータ |
新野俊樹, 塚本英隆 |
生産研究, Vol.55, No. 6, pp.16-20 |
超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器−摩擦駆動面− |
遠藤康博, 新野俊樹 |
生産研究, Vol.55, No. 6, pp.21-24 |
20万円で作る原子間力顕微鏡による結晶格子の観察 |
六尾妙, 中澤友則, 新野俊樹, 山本晃生, 金範, 星泰雄, 池田耕吉, 川勝英樹, |
生産研究, Vol.55, No. 6, pp.13-15 |
Making Five Atomic Force Microscopes for 200,000yen each - A Student Project - |
T. Mutsuo, T. Nakazawa, T. Niino, A. Yamamoto, B. Kim, Y. Hoshi, K. Ikeda, and H. Kawakatsu |
The 11th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy p.107 |
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東京大学生産技術研究所 新野研究室
東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻
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